שלב מדידת מיקרוסקופ BMS-311
| מעמד BSZ-F1 גובה עמודה: 400 מ"מ, Φ38 מ"מ עמודה לזרוע מיקוד: Φ30 מ"מ
| מעמד BSZ-F2 גובה עמודה: 454 מ"מ, Φ29.5 מ"מ גודל בסיס: 396*276 מ"מ עמודה לזרוע מיקוד: Φ30 מ"מ | מעמד BSZ-F3 גובה עמודה: 490 מ"מ, Φ38 מ"מ גודל בסיס: 253*253 מ"מ, אורך מוט צולב: 446 מ"מ, עמודה למוקד זרוע: Φ30 מ"מ |
| מעמד BSZ-F4 עמודה לזרוע מיקוד: Φ30 מ"מ | מעמד BSZ-F9 גובה עמודה: 280 מ"מ צלחת זכוכית: Φ100 מ"מ תושבת למיקרוסקופ: Φ76 מ"מ | מעמד BSZ-F10 גובה עמודה: 280 מ"מ צלחת זכוכית: Φ140 מ"מ תושבת למיקרוסקופ: Φ76 מ"מ |
| מעמד BSZ-F11 גובה עמודה: 280 מ"מ צלחת זכוכית: Φ100 מ"מ תושבת למיקרוסקופ: Φ76 מ"מ | מעמד BSZ-F12 אירוע הלוגן ותאורה משודרת תושבת למיקרוסקופ: Φ76 מ"מ | מעמד BSZ-F13 גודל מהדק: 103*77*115 מ"מ מקסימוםעובי שולחן: 52 מ"מ אורך הזרוע האופקית: 507 מ"מ תושבת למיקרוסקופ: Φ76/Φ40/Φ45 מ"מ |
| מעמד BSZ-F14 גודל בסיס: 382*260*24 מ"מ גובה עמודה: 408 מ"מ, Φ32 מ"מ תושבת למיקרוסקופ: Φ76/Φ40/Φ45 מ"מ | מעמד BSZ-F15 גודל בסיס: 382*260*24 מ"מ גובה עמודה: 408 מ"מ, Φ32 מ"מ אורך מוט צלב: 408 מ"מ תושבת למיקרוסקופ: Φ76/Φ40/Φ45 מ"מ | מעמד BSZ-F16 גודל בסיס: 318*308*16 מ"מ גובה עמודה: 326 מ"מ טווח מיקוד: 160 מ"מ תושבת למיקרוסקופ: Φ76/Φ40/Φ45 מ"מ |
| מעמד BSZ-F17 גודל בסיס: 318*308*16 מ"מ גובה עמודה: 326 מ"מ טווח מיקוד: 160 מ"מ זרוע מיקרוסקופ: Φ76/Φ40/Φ45 מ"מ | מעמד BSZ-F18 גודל בסיס: 318*308*16 מ"מ גובה עמודה: 500 מ"מ טווח מיקוד: 160 מ"מ זרוע מיקרוסקופ: Φ76/Φ40/Φ45 מ"מ | מעמד BSZ-F19 (למצלמה) גודל בסיס: 318*308*16 מ"מ גובה עמודה: 326 מ"מ טווח מיקוד: 160 מ"מ
|
| BMS-302 XY Stage גודל במה: 180×155×26 מ"מ, טווח תנועה: X-75 מ"מ, Y-55 מ"מ, דיוק: 0.1 מ"מ | BMS-304 XY Stage גודל במה: 254×203×25 מ"מ, טווח תנועה: 100 מ"מ × 100 מ"מ, במת זכוכית: Φ 140 מ"מ | BMS-311 שלב מדידה גודל במה: 160×123×21 מ"מ, טווח נע: X-75 מ"מ, Y-50 מ"מ, דיוק: 0.1 מ"מ |
